1. 本选题研究的目的及意义
随着物联网、智能家居、环境监测等领域的快速发展，湿度传感器作为一种重要的环境感知元件，其需求日益增长。
传统的湿度传感器存在体积大、功耗高、响应速度慢等缺点，难以满足新兴应用的需求。
因此，开发高性能、低功耗、小型化的湿度传感器具有重要的现实意义。
2. 本选题国内外研究状况综述
近年来，ZnO薄膜湿度传感器因其优异的性能和广阔的应用前景而受到国内外学者的广泛关注。
1. 国内研究现状
国内学者在ZnO薄膜湿度传感器领域取得了一系列进展。
3. 本选题研究的主要内容及写作提纲
本选题将采用以下技术路线：首先，通过对ZnO薄膜的制备工艺进行优化，获得具有良好湿敏特性的ZnO薄膜；其次，对ZnO薄膜进行结构和形貌表征，分析其微观结构与湿敏性能之间的关系；最后，制备电导式湿度传感器，并对其性能进行测试和分析。
1. 主要内容
1.研究ZnO薄膜的制备方法，探索不同制备工艺参数对ZnO薄膜微观结构和湿敏性能的影响规律。
4. 研究的方法与步骤
本研究将采用实验研究与理论分析相结合的方法。
1.文献调研阶段：查阅国内外相关文献，了解ZnO薄膜湿度传感器的研究现状、发展趋势以及ZnO薄膜的制备方法、性能表征手段等。
2.材料制备阶段：采用合适的实验方法制备ZnO薄膜，并通过控制实验条件，探索不同制备参数对ZnO薄膜微观结构和湿敏性能的影响规律。
5. 研究的创新点
1.探索新型、高效的ZnO薄膜制备方法，以提高材料的湿敏性能。
2.深入研究ZnO薄膜的湿度敏感机理，揭示其吸附水分子和电导率变化之间的关系。
3.优化ZnO薄膜湿度传感器的结构和制备工艺，以提高传感器的灵敏度、响应速度、稳定性等性能指标。
6. 计划与进度安排
第一阶段 （2024.12~2024.1）确认选题，了解毕业论文的相关步骤。
第二阶段（2024.1~2024.2）查询阅读相关文献，列出提纲
第三阶段（2024.2~2024.3）查询资料，学习相关论文
7. 参考文献（20个中文5个英文）
[1]王丽,张福学.氧化锌纳米材料气敏特性研究进展[J].功能材料,2018,49(8):8001-8008.
[2]张晓艳,韩宁,王晓东.纳米氧化锌的制备及其气敏性能研究[J].材料导报,2017,31(S1):183-186.
[3]张艳,王亮,张秀丽,等.氧化锌基湿度传感器研究进展[J].功能材料,2020,51(9):9074-9082 9088.
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